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VTC-200-CE半柜式清洗机

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产品名称: VTC-200-CE半柜式清洗机
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作,全不锈钢机柜,耐魔蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。

VTC-200-CE半柜式清洗机的详细介绍


产品名称

VTC-200-CE半柜式清洗机

主要特点

1、不锈钢半柜式设计,触摸屏操作

2、透明观察窗,带排废和抽风功能

3、可移动式直线导轨清洗,行程可定制

4、*多可配备四路清洗或氮气吹干系统

5、可处理*大基片尺寸为8寸晶圆,向下兼容

6、更大尺寸可定制

技术参数

1、旋转速度可调范围:20-10000rpm

2、加速度可调范围:0-50000rpm/s

3、标配直线导轨行程:100mm;*大移动速度:100mm/s

4、标配两路喷液系统,扇形或柱形喷嘴可选

5、标配10L不锈钢压力桶两只,其它规格可选

6、清洗液或氮气加温系统可选配

产品规格

尺寸:940mm(长)×800mm(宽)×1100mm(高)


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销售:024-23826161 23826163 23826164 转805 812 825 821 811 808 

销售专线:18624331856  18624331865  18624331992  18624331806  18624331853

售后:024-23826163转829  售后热线:18624331680  工艺技术服务专线:18624331690

传真:024-23826165  E-mail:kejing@sykejing.com  网址:http://www.sykejing.com 

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