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多路浮子控制供气系统GSL-3F

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产品名称: 多路浮子控制供气系统GSL-3F
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产品展商: 科晶
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简单介绍

多路浮子控制供气系统GSL-3F适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以置于其上,可用于CVD系统及退火炉,可用来研究气体环境对材料的影响。

多路浮子控制供气系统GSL-3F的详细介绍

产品型号

多路浮子控制供气系统GSL-3F

主要特点

1、适用于低压小流量,多种气体的单一或混合连续供气。

2、尤其方便多种气体切换使用,而不造成大气进入加热管。

3、每条气体管路均有一个高压截止阀,有效确保安全。

4、气体压力和流量数据在同一平面直观可读,实用、简便。

5、流量显示准确,可有效控制气体的消耗量。

6、所有仪表及阀门均采用活接头连接,便于维修和拆卸。

技术参数

1、气路通道:三通道(可根据需要设计通道)

2、气路流量控制器:浮子流量计

3、标量程:10-100ml/min16-160ml/min25-250ml/min

4、接口:Φ6.35mm

5、截止阀:Φ6.35mm

6、不锈钢管:外径Φ6mm×内径Φ4mm

7、混气罐:Φ80mm×140mm

8、压力真空表:-0.1MPa-0.15MPa0.01MPa/grid

9、工作环境:5-45℃,高纯气体



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