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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

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产品名称: GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪
产品型号: GSL-1100X-SPC-16C
产品展商: 科晶
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简单介绍

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用。

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪的详细介绍

产品名称

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16C

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25±15,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:不需要

主要特点

配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用

技术参数

1、靶:Ø50mm

2、样品台:Ø50mm

3、真空室:Ø160mm×110mm

4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar

5极限电流:50mA

6、可设定极限时间:9999s

7极限电压:1600V  DC可调

8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar(也可选配国产分子泵)

标准配件

1

金靶材

1

2

碳绳

1

3

钨丝篮

2

4

热蒸发附件

1

5

进气针阀

1

6

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材


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