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GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪

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产品名称: GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪
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产品展商: 科晶
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简单介绍

GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下活化和清理材料(如单晶片、光学元件、塑料等)表面杂质,且清理速度迅速。本机是为获得高质量的外延薄膜或光学涂层进行预先表面处理的合适的工具选择。GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪具有一个样品台,将样品固定在样品台上后可进行X、Y、Z三个方向上一定范围内的连续移动清洗,且清洗过程中离子束不会发生抖动,清理后的样品表面质量均匀。

GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪的详细介绍

产品名称

GSL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪

产品型号

GSL-1100X-PJF-A

主要特点

1、高速理物件表面,操作简单、安 

2无需真空腔室环境。

3、小巧实用、成本低

4、重量轻、结构紧凑。

5已通过CE认证。

技术参数

1电源110/220V  50Hz/60Hz  <100W

2输出频率:20KHz-23KHz

3离子束头圆头10mm-12mm,矩形头15mm-18mm

4输入气压0.275MPamin

5工作气氛空气、氮气、氩气、混合气体,但不要使用易燃易爆气体

6、等离子工作压力:0.048MPa-0.068MPa

7、工作环境:温度<42℃,湿度≤40%RH

8、工作台:自动控制三维工作台,XY轴电动调节,Z轴手动调节

9、真空吸盘:Ø100mm

10X轴行程:200mm

11Y轴行程:100mm

12Z轴行程:50mm

产品规格

尺寸:600mm×600mm×1250mm;重量:55kg

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