切割机,研磨抛光机,金相研磨抛光机,抛光机,研磨机,精密切割机

    
产品资料
产品[

4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV
产品型号: OTF-1200X-4-RTP-HV
产品展商: 科晶
产品文档: 无相关文档


简单介绍

4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4″石英管及高真空系统(机械泵+分子泵), 是专为半导体或太阳能电池基片(蕞大3″)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,蕞快升温速度为50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

4″高真空RTP炉OTF-1200X-4-RTP-HV 的详细介绍

 

控温仪表操作视频

产品型号

4高真空RTPOTF-1200X-4-RTP-HV

主要特点

1、石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易。

2样品架上放置76mmAlN片,承载需要退火的样品AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很     好的温度均匀性(± 5℃)。

3内插式热偶保证了温度的准确性

4、采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能。

5、已通过CE认证。

技术参数

1源:炉体单相208-240V50/60Hz10KW;高真空系统AC110V/220V任意切换,50/60Hz110W

2、炉体结构:双层莫来石钢构

3、石英管:外径Φ110mm,内径Φ103mm,长380mm

4、样品架:76mm

5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈Φ10mm,灯长300mm

6加热区102mm×305mm,均匀性±5

7、热偶:K型热偶

8、温度:蕞高温度1100℃,额定温度1000℃,在1000-1100℃下保温时间不得超过600s

9、控温精度:±0.5

10、蕞快升温速度:RT-800℃内50/s800-1000℃内10/s

11、高真空系统气动时间:2min

12、真空度:6.3×10-5mbar(在40min中)

13真空法兰:KF-D25配有两个高温O型圈密封

14、流量计:16-160ml/min

15、前级泵流速:在10mbar状态下3.8L/min50Hz4.4L/min60Hz

产品规格

炉体:尺寸760mm×330mm×530mm重量50kg

高真空系统:尺寸:600mm×600mm×700mm,重量18kg


 

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!


   
       

销售:024-23826161 23826163 23826164 转805 812 825 821 811 808 

销售热线:18624331856  18624331865  18624331992  18624331806  18624331853

售后:024-23826163转829  售后热线:18624331680  工艺技术服务热线:18624331690

传真:024-23826165  E-mail:kejing@sykejing.com  网址:http://www.sykejing.com 

:110171地址沈阳市浑南新区学风路26-2-7号,精密仪器工业园



Copyright© 2003-2018 沈阳科晶自动化设备有限公司版权所有  辽ICP备10002587号-5
 

辽公网安备 21011202000257号