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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

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产品名称: GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配有5个水冷电极,在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化,进而损坏电极。该机采用金属腔室,具有极高的真空度,真空度可达到5.0×10-7torr,样品台可对样品进行加热,加热温度为100℃-150℃,是进行高真空蒸发镀膜的首 选设备。

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪的详细介绍
产品名称

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好

3、工作台:落地式,占地面积2m2以上

4、通风装置:需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1个CF150闸板 阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、5个CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于,安装其他设备)。

4、在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。

    

5、样品台安装在腔体的顶部。

6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,膜厚测量分辨率(铝)为0.1Å

7、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入:单相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)

2、蒸发输出:电压AC0-8V连续可调,*大蒸发电流200A,*大蒸发功率<1.6KW

3、真空腔:Ø300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理

                  

4、观察窗:Ø100mm,采用专用密封圈密封

5、真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s

6、真空度:5.6×10-4Pa(泵开启40min后)

7、极限真空度:5.2×10-5Pa

8、漏率:6.7×10-9Pa·L/S

9、样品台:Ø140mm(加热温度为室温-500℃)

                      

10、蒸发舟与样品台间距:260mm

11、冷却水需量:15L/min

产品规格

尺寸:650mm×1200mm×1600mm;重量:600kg 

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