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开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

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产品名称: 开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
产品型号: OTF-1200X-F3LV
产品展商: 科晶
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简单介绍

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成,可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体,真空度可达10-2torr。

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV的详细介绍

产品型号

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

主要特点

1层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。

2内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命

3PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

4设有超温及断偶报警功能

5已通CE认证。

技术参数

1电源:AC 220V   50/60Hz  2.5KW

2、石英管:外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:*高1200连续工作1100

7、*大升降温速率:20/min

8、控温精度:±1

9、真空度:5.5×10-3torr(机械泵),10-4torr(分子泵)

10、泄漏率:<5mtorr/min

11、浮子流量计3个;10-100ml/min16-160ml/min25-250ml/min

12、压力表:4

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,混气系统600mm×600mm×597mm;重量:60kg



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销售专线:18624331856  18624331865  18624331992  18624331806  18624331853

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