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500ºC真空热压机VHP-5T-4

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产品名称: 500ºC真空热压机VHP-5T-4
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

500ºC真空热压机VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,专门用于晶片的焊接和薄膜转移,其可处理*大样品尺寸为100mm×100mm,*高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的*大压力为6T(七月份更改为*大压力40T)。

500ºC真空热压机VHP-5T-4的详细介绍

 

500ºC真空热压机VHP-5T-4操作视频

产品型号

500ºC真空热压机VHP-5T-4

主要特点

1、加热平台中间嵌有1000W的加热管,可达到快速加热的效果;加热平台顶端设有水冷管(当工作温度高于200

      ℃时请注入冷却水(>15L/min)),以达到快速冷却的效果。

2、采用两个精密的温控器独立控制两块加热平台,且可设置30段升降温程序,采用PID方式进行温度调节,并带  有过热和断偶保护功能。

3、使用控温软件和PC接口可将温度程序和温度曲线导入计算机。

4、数字压力显示器安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止。

5、液压装置和加热台都置于真空腔体内,且腔体采用304不锈钢制作,并焊有加强筋(防止真空状态下腔体变形  )。

6、真空腔体前端设有观察窗。

7、一个高灵敏度的真空计安装于真空腔体上,测量内部的真空度。

技术参数

1电源:单相AC208V-240V 50Hz/60Hz

2*大功率:2500W

3、加热平台:采用高温合金钢制成,*高可承受温度500℃,尺寸135mm×135mm,两平台间可移动距离15mm

4、液压泵:40T的电动液压机与真空腔体相连接,压力控制精度为±0.01MPa0.1kg/cm2),自动压力控制并带       有数显

5、*高工作温度:500

6、升温速率:<10/min

7控温精度:±1

8、真空度:10E-3torr

9、内部腔体尺寸:372mm×420mm×480mm

10、观察窗口:Φ150mm

产品规格

尺寸:600mm×500mm×400mm


        

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